先進X光光學-讓不可見的材料特性被精準量測與操控
技術介紹:
國輻中心自主研發25點彎曲鏡系統,可高精度調控鏡面形貌,主動優化EUV至軟X光光束品質與聚焦性能,提升量測靈敏度與穩定性,支援先進光束線、半導體及新穎材料研究。
產業應用性:
此技術可提升EUV至軟X光光束品質與聚焦能力,應用於半導體檢測、先進材料分析及量子元件開發,協助提升量測精度、加速研發流程,並強化同步輻射光束線效能與產業競爭力。
國家同步輻射研究中心
「國家同步輻射研究中心」興建並負責營運兩座加速器光源與所屬的光束線實驗設施:台灣光源(Taiwan Light Source, TLS)與台灣光子源(Taiwan Photon Source, TPS),為我國規模最大的大型共用實驗設施。1993年10月開放用戶使用的「台灣光源」,是亞洲第一座、世界第三座完成的第三代同步輻射設施,電子束能量15億電子伏特,周長120公尺,真空紫外線及軟X光光源為其最優的能量波段範圍。2016年9月正式啟用的「台灣光子源」為目前世界上最亮的同步光源之一,具備超低束散度的儲存環,電子束能量30億電子伏特,周長518.4公尺,軟X光及硬X光為其最佳的能量波段範圍,可容納40條以上的光束線,能滿足綠能、生醫、與奈米科學等現代科技與先進科學對超高亮度光束的需求。此外,透過國際合作協約的簽訂,也負責位處日本SPring-8的兩條硬X光台灣光束線及澳洲Australia’s Nuclear Science and Technology Organisation (ANSTO)的冷中子三軸能譜儀之運轉。
「國家同步輻射研究中心」擁有世界首屈一指的同步光源之一,具備與時俱進的實驗設施與技術,世界各地的研究人員藉由實驗計劃的申請與審查機制,可運用本中心的實驗設施從事科學研究。每年有超過2,000名國內外用戶前來實驗,進行基礎科學研究與尖端科技創新,使台灣的科學研究與國際頂尖實驗設施並駕齊驅。
「國家同步輻射研究中心」擁有世界首屈一指的同步光源之一,具備與時俱進的實驗設施與技術,世界各地的研究人員藉由實驗計劃的申請與審查機制,可運用本中心的實驗設施從事科學研究。每年有超過2,000名國內外用戶前來實驗,進行基礎科學研究與尖端科技創新,使台灣的科學研究與國際頂尖實驗設施並駕齊驅。