前瞻半導體設備與材料在地化服務平台：拉曼臨場檢測技術與晶圓級二維材料晶片
技術介紹:
拉曼臨場檢測模組整合即時影像與光譜擷取，採模組化設計安裝於 CVD 系統，可在半導體材料生長過程中即時監測晶體訊號，掌握二維薄膜的結構形成與相變化。此技術可支援原子級薄膜製程與材料驗證，並驗證自研設備與關鍵組件於次世代製程的可行性，促進半導體設備、關鍵材料與技術在地化發展。
產業應用性:
此拉曼臨場檢測模組可直接導入 CVD 半導體製程設備中，提供製程中即時、非破壞性的材料監測能力，協助晶圓與二維材料生長的品質控管與參數優化，提升良率與穩定性。同時可用於先進材料研發與製程開發，加速新材料導入量產驗證，並支援半導體設備與關鍵零組件的性能驗證與在地化發展，強化整體供應鏈自主能力。
財團法人國家實驗研究院
財團法人國家實驗研究院（National Institutes of Applied Research, NIAR），簡稱國研院，成立於 2003 年 6 月，隸屬於國家科學及技術委員會，下轄７個國家級實驗研究中心，由院本部統合協調各單位之運作，以提升彈性與效率，促成國家科技發展體系之垂直整合。藉由整合各研究中心之核心技術與設施，國研院提供國內產、官、學、研界進行「地球環境」、「資通訊科技」、「生醫科技」、「科技政策」等領域所需之研發平台與技術服務。
