相容標準鰭式電晶體邏輯製程超高密度鰭式電晶體介電層電阻式隨機存取記憶體
技術介紹:
隨著HPC、AI與IoT系統對高效能嵌入式NVM的需求,本計畫開發相容先進鰭式邏輯製程之介電層電阻式記憶體。採用金屬閘極介電層作為電阻轉換層,無需額外光罩與製程,具備低功耗、高速、高可靠度及1.5T NOR/1D1R高密度交叉點陣列潛力,適合未來嵌入式記憶體應用。
產業應用性:
本技術已於台積電16/7/5奈米FinFET CMOS邏輯平台驗證,無需額外光罩與客製製程即可整合eNVM;結合1.5T NOR與1D1R高密度陣列,可提升記憶密度、降低面積,支援code storage、CPU/AI記憶體與先進嵌入式系統應用。
國立清華大學
國立清華大學(National Tsing Hua University, NTHU)成立於1911年,位於新竹市,是台灣頂尖的研究型大學之一。學校提供多元的學科領域,包括工程、科學、管理、人文等,致力於創新研究與國際化發展。