本團隊以新型摻雜於ZnO無鉛材料，並透過極化和退火等製程強化材料壓電性，與去年開發之無鉛材料LZO相比，壓電係數d33值從22.85pm/V提高至80pm/V以上，並且採用ANSYS模擬最佳元件結構，成功首創開發無鉛壓電MEMS三軸加速規，並整合低功耗讀取電路，建立物聯網所需之智慧感控系統。本團隊開發新型摻雜於ZnO無鉛壓電材料，透過極化薄膜和退火等製程來強化材料壓電特性，並利用ANSYS有限元素分析法模擬出最佳元件結構，成功首創開發無鉛壓電MEMS三軸加速規，並且整合本團隊所開發的電流鏡架構之低功耗讀取電路，建立物聯網時代所需之智慧整合感控系統。本團隊已成功首創MEMS三軸無鉛壓電加速規感測系統，具有節能環保及高性能等優點，並且已經可實際應用於無人載具及工具機之安全監控，除此之外，三軸加速規可以應用於定位系統、車聯網、汽車安全防護系統及老人安全防護系統，因此在感測器蓬勃發展及環保節能的現代，無鉛壓電MEMS三軸加速規極具商業潛力。