透過自動化光學影像擷取結合AI分類技術,可對液體中的微污染粒子進行高效率自動化分類,有效克服傳統技術在辨識半透明與異質粒子上的限制。此技術運用深度學習模型與影像辨識演算法,能準確辨識軟質粒子、結晶體、堅硬顆粒、團聚顆粒與氣泡等異物,提升數據準確性與判讀一致性。系統亦具備即時分析能力,有助於強化製程監控、釐清異常來源,進一步穩定品質與提升良率。應用於半導體製程,支援品保、供應鏈與研發優化,提升監測效率與管理精度。
運用深度學習結合液體流動特性的特徵分析,不僅能進行靜態影像分類,亦具備在動態變化情境下辨識污染源異常的能力,適用於各行業的製程步驟及濕製程生產環節,可作為品質控管的重要工具。透過FlowTrack 系統可快速提供污染物的分類結果與數量分布數據,精確掌握污染物類型及其濃度變化趨勢,進而協助推估污染來源,並預判其對製程的潛在風險,如設備污染或異物導入等問題,有效降低異常停機時間。藉此不僅提升製程的穩定性與產品品質,更能顯著改善良率及減少物料損耗,為企業創造實質經濟價值。
2017年從工研院量測中心國家標準實驗室出發,專注於流體自動化光學檢測解決方案。以關鍵的創新奈米薄膜技術,突破過去液態樣品檢測的瓶頸。搭配高階AI影像辨識技術,提供奈米級原始觀測影像。30秒讓高階先進製程裡的微小粒子無所遁形!絕對是先進半導體3奈米製程的一大助力。
技術成熟度:實驗室階段
展示目的:商機推廣
流通方式:新產品開發
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