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再生碳化矽粉體技術應用-4"碳化矽晶圓承載盤

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再生碳化矽粉體技術應用-4"碳化矽晶圓承載盤

隨著全球高純碳化矽粉末需求量持續成長,本展品係使用矽晶圓邊角料做為矽源,由千盟自行研發高溫直接反應合成純度3N的循環碳化矽粉體,並進一步製作碳化矽晶圓承載盤。透過高值化循環材料開發,除有助於自主掌握碳化矽原料,逐漸實現原料國產化替代,並藉由千盟之生產製造及CNC加工技術優勢,提供國內產業所需之關鍵晶圓承載盤客製化整體解決方案。

財團法人工業技術研究院

工業技術研究院是國際級的應用研究機構,擁有六千位研發尖兵,以科技研發,帶動產業發展,創造經濟價值,增進社會福祉為任務。自1973年成立以來,率先投入積體電路的研發,並孕育新興科技產業;累積近三萬件專利,並新創及育成,包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司,帶動一波波產業發展。

聯絡人

  • 姓名:吳禹函

  • 電話:+886-3-591-6955

  • 地址:新竹縣竹東鎮中興路四段195號

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其他資訊

  • 展館別:永續發展館 2023循環再生 SC27

  • 所屬代表參展單位:經濟部產業發展署

  • 主要應用領域:綠能與環境、材料化工與奈米

位置 更多資訊

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  • 技術成熟度:雛型

  • 展示目的:研發成果展示

  • 流通方式:自行洽談

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