環保光阻加速剝除劑
隨著科技進步的演進,電子產品走向微小化,PCB製程中傳統光阻剝除劑以液態鹼性為主,但現階段面臨光阻殘留或阻塞孔洞之問題,需以重工製程進行2次清除,造成能源損耗及產能利用率下降。本技術進行界面改質劑及光阻滲透性研究,開發無毒/無氨氮綠色光阻剝除劑,運用界面改質劑,使其具有親水及光阻相容性,使鹼基易滲透入光阻進行澎潤破壞。本技術綠色光阻剝除劑,與國內電子化學品廠及PCB廠合作,驗證剝除劑用量降低40%、製程重工率由20%降至0重工,光阻剝除製程良率達97%以上,達到節能及減碳,提升國際競爭力。
產業應用性:
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財團法人工業技術研究院
工業技術研究院是國際級的應用研究機構,擁有六千位研發尖兵,以科技研發,帶動產業發展,創造經濟價值,增進社會福祉為任務。自1973年成立以來,率先投入積體電路的研發,並孕育新興科技產業;累積近三萬件專利,並新創及育成,包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司,帶動一波波產業發展。