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材料改質誘發高效加工模組

首創大氣下大面積電漿材料改質設備,於加工前誘發晶圓應力均化,降低後續加工損傷;大氣下製程,易於整合於目前的晶圓切割、研磨、拋光製程
產業應用性:
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財團法人工業技術研究院

工業技術研究院是國際級的應用研究機構,擁有六千位研發尖兵,以科技研發,帶動產業發展,創造經濟價值,增進社會福祉為任務。自1973年成立以來,率先投入積體電路的研發,並孕育新興科技產業;累積近三萬件專利,並新創及育成,包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司,帶動一波波產業發展。

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姓名:翁志強
電話:03-5918795
地址:新竹縣竹東鎮中興路四段195號
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展館別:創新經濟館 半導體 IC10
所屬部會/單位:經濟部產業技術司
主要應用領域:材料化工與奈米、機械與系統
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