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化學鍍液潔淨度智慧感測技術

高階ABF載板製程碳排主要來自電化鍍製程因潔淨度掌握不足導致線路成型產生結瘤廢品。目前液體微粒子計數仰賴國外進口,缺乏高靈敏、抗成份干擾智慧化監控解決方案。隨著先進製程需求擴張,次微米液體微粒子計數器為突破關鍵。
本技術以高靈敏連續微粒監測取代人力採檢比對耗時,提早發現槽液異常。透過微粒特徵辨識演算融合光吸收粒徑特徵補償設計去除溶液干擾,增加粒徑辨識準確度。
經由導入指標高階ABF載板廠化鍍產線,即時槽液潔淨度偵測與超標警示,減碳效益達2,040噸/年,預估2030年累計減碳達7.65萬噸。
產業應用性:
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財團法人工業技術研究院

工業技術研究院是國際級的應用研究機構,擁有六千位研發尖兵,以科技研發,帶動產業發展,創造經濟價值,增進社會福祉為任務。自1973年成立以來,率先投入積體電路的研發,並孕育新興科技產業;累積近三萬件專利,並新創及育成,包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司,帶動一波波產業發展。

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姓名:莊威喆
電話:63847109
地址:新竹縣竹東鎮中興路四段195號
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展館別:創新經濟館 半導體 IC09
所屬部會/單位:經濟部產業技術司
主要應用領域:材料化工與奈米、機械與系統、綠能與環境
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