超穎透鏡及高精度透鏡光場掃描檢測儀
技術介紹:
隨著超穎透鏡Metalens朝向高精度與微型化發展，其奈米結構品質直接影響光學性能。傳統檢測需仰賴電子顯微鏡進行破壞式抽驗，難以完整評估元件整體光學特性。工研院量測中心開發光場掃描檢測儀，以非破壞方式量測透鏡全焦深三維光場分布，重建波前相位並驗證製程品質。系統結合AI演算法分析成像性能與缺陷來源，可量化焦距偏差、波前誤差及結構異常，並建立光學性能與奈米結構間的關聯模型，提升超穎透鏡檢測與診斷能力。
產業應用性:
本系統可應用於超穎透鏡研發、製造及量產檢測流程，提供快速且非破壞式的光學品質驗證。透過量測三維光場分布與重建波前相位，可分析元件成像性能、焦距偏差及製程缺陷，協助製造端即時調整製程參數與設備條件，提高產品良率與一致性。系統可應用於AR／VR、手機鏡頭、光學感測器、半導體光學元件等領域，並可進一步整合AI分析技術，建立智慧化閉環製造機制，加速新世代光學元件的量產導入。
財團法人工業技術研究院
工業技術研究院是國際級的應用研究機構，擁有六千五百位尖兵，以科技研發，帶動產業發展，創造經濟價值，增進社會福祉為任務。自1973年成立以來，率先投入積體電路的研發，並孕育新興科技產業；累積超過三萬件專利，並新創及育成，包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司，帶動一波波產業發展。
