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大面積電沉積與電蝕刻製程的實現

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大面積電沉積與電蝕刻製程的實現

電化學噴嘴藉由凹室與電極的設計,電解液在經過該通道的漸縮段加速後由該出液口進入該凹室,會因為該凹室的緩衝效果,減緩該第一電極加工區域的速度變化,使流速更均勻,有助於形成組織一致的加工表面,並可增加加工的面積,提升工作效率。本技術結合兩相流體動力學及電化學進行動態環境的氧化還原反應,透過管道設計與電極位置的安排,達到電鍍或電蝕的目的,由於已知的研究發展尚未將惰性粒子的共同沉積納入其中,在配合周邊技術的整合後,將是深具運用潛力的核心技術。本技術結合習知的電化學噴嘴與靜壓軸丞技術,藉由凹室與電極的設計以及三軸自動化定位系統,具有選擇性及沉積速度快的優點,可以直接沉積所需形狀並可對大型零件實施局部電鍍,實現大面積電化學加工的目標。由於相關技術可行性高,加工過程穩定均一,應用成本低廉,深具產業應用價值。

聯絡人

  • 姓名:周昭昌

  • 電話:02-2462-2192#3224

  • 地址:基隆市北寧路2號

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其他資訊

  • 展館別:未來科技館

  • 所屬代表參展單位:國科會

  • 主要應用領域:材料化工與奈米

位置 更多資訊

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  • 技術成熟度:雛型

  • 展示目的:可交易專利、商機推廣、研發成果展示

  • 流通方式:專利授權/讓與、技術授權/合作、自行洽談

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