本技術研發目標旨在發展「可應用於單晶片三維積體電路之異質互補式薄膜電晶體元件技術」，打破傳統單晶矽型態的電路設計方式，以異質混合互補式薄膜電晶體技術開發邏輯電路基本單元-反相器電路，並以此反相器單元發展功能性電路，整合於單晶矽晶圓製程，以達低功耗與高電路積集度的目標，建立突破性的前瞻電子元件技術。本研究已成功整合N型無接面氧化銦鎢奈米薄片電晶體與非對稱式鎳側向誘發結晶P型複晶矽薄膜電晶體，均具低操作偏壓(≤ 2V)與其他優越元件特性，如: 近理想的次臨界擺幅~ 63mV/dec.與極低的漏電流，並研製出元件尺寸匹配的異質混合互補式反相器電路，可為前瞻三維積體電路技術的發展建立扎實的技術平台。本計畫成果已成功開發出兼具高效能、低功耗的混合互補式邏輯反相器電路技術，實現於物聯網與人工智慧等多項前瞻電子產品中。此外，亦可將其應用於平面顯示技術，使顯示電路的設計富有彈性，提升顯示產品功能的多樣性與附加價值，舉凡電子標籤、車用中控台顯示、智慧型手機、醫療用顯示儀器等皆可應用其建構完整的驅動電路。