原子針尖斷層影像儀技術開發及應用
原子針尖斷層影像儀是一種嶄新的分析技術，能夠解析材料或元件微觀區域的三維原子分佈，並且在空間上達到次奈米等級解析度，在成份上達到接近20 ppm偵測極限，這樣獨特的綜合分析能力使其有別於成份分析受限的穿透式電子顯微鏡與空間解析受限的二次離子質譜，使其成為當代微縮化、異質化、且立體化半導體元件研發所需之關鍵分析技術。
學研單位
姓名：顏鴻威
電話：
地址：10617 臺北市羅斯福路四段一號
展館別：未來科技館 半導體 FB27
所屬代表參展單位：國科會
主要應用領域：材料化工與奈米、電子與光電
266 nm雷射光譜暨影像技術服務平台
三維原子級電子斷層掃描技術在前瞻半導體元件的應用
極弱光成像技術:捕捉不可見光之穿戴式眼鏡
轉廢為寶創新技術-半導體含矽廢棄物再生二氧化矽
技術成熟度：實驗室階段
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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