碳化矽具顯著高能隙優勢，成為淨零排放科技的首選材料。然其高硬度與強化惰性使表面拋光成為製程瓶頸，現有技術面臨低移除率、高成本及環境污染問題。微波創新技術則無需添加重金屬或催化劑，乃在固-液界面激發電子實現潔淨氧化還原反應，將表面轉為易拋氧化物，提升拋光效率，具推動半導體製造業朝經濟、高效、環保發展。
國立中央大學，官方簡稱中大，是位於臺灣桃園市中壢區的一所公立研究型大學。因創校於中華民國首都南京而得名中央，其前身甚多，1928年5月定名為國立中央大學。
技術成熟度：雛型
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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