為減少晶圓製造過程中樣品表面遭受大氣汙染影響製程分析的正確性，特別是在大氣環境下易反應的薄膜材料，儀科中心自主開發叢集式 in-situ XPS 次奈米極淺層薄膜成分分析服務平台，串接多項相關製程設備連結達到製程臨場監測目的，提供產學研新穎材料製程與檢測服務。
技術成熟度：試量產
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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