整合臨場極淺層薄膜分析之六吋叢集式 ALD/ALE 平台
為減少晶圓製造過程中樣品表面遭受大氣汙染影響製程分析的正確性，特別是在大氣環境下易反應的薄膜材料，儀科中心自主開發叢集式 in-situ XPS 次奈米極淺層薄膜成分分析服務平台，串接多項相關製程設備連結達到製程臨場監測目的，提供產學研新穎材料製程與檢測服務。
姓名：陳峰志
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展館別：未來科技館 2024法人計畫成果 FD02
所屬代表參展單位：國家科學及技術委員會
主要應用領域：機械與系統
前瞻異質半導體元件整合之單晶片三維堆疊超高密度邏輯閘(20M NAND-Gate/mm^2)積體電路技術
應用於自駕車與擴增實境之壓電式MEMS微掃描面鏡開發
應用於心臟疾病診斷之無線生理檢測晶片系統與平台
AI大數據分析之工具機效率提升系統
技術成熟度：試量產
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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