技術簡介:
1. 本技術製備之 β-Ga₂O₃(Sn) 奈米柱狀薄膜，對一氧化氮氣體展現迅速的2 秒響應時間、高效的4 秒恢復時間，並達到30 ppb 的偵測極限。
2. 錫（Sn）摻雜比例使 β-Ga₂O₃ 的奈米結構從棒狀逐漸轉變為紡錘狀型態。
3. 使用氧氣的氣氛條件退火後會改善氣體感測機制。
產業應用性:
1. 在現代醫療診斷，呼氣分析正扮演重要的角色。一氧化氮呼氣濃度（FeNO）通常落在 25 至 80 ppb 之間，氣喘病患超過 50 ppb 被視為偏高，可應用於氣喘監控、智慧醫療設備。
2. 針對汽車廢氣控制、工業排放偵測、以及爆炸性氣體之監控等環境感測模組應用。
國立中興大學（National Chung Hsing University, NCHU）成立於1919年，位於台中市，是台灣一所綜合性大學，提供農業、工程、科學、人文等多領域的優質教育與研究，致力於創新與國際化發展。
技術成熟度：其他
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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