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奈米雙晶銅應用於低溫/快速銅-銅接合與高韌性銅導線

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奈米雙晶銅應用於低溫/快速銅-銅接合與高韌性銅導線

"銅是半導體/微電子業最重要的導體。本技術使用電鍍<111>奈米雙晶銅,能提升電鍍銅的電性與機械性質,成為下一世代的銅接點的重要材料。能夠應用在兩種接點:
1. 低熱預算/低電阻銅對銅直接接合,是下一世代超高密度封裝技術,應用於高速計算晶片
2. 高強度/高韌性銅導線,應用於三維積體電路封裝敝實驗室製備具有高度(111)優選方向的奈米雙晶銅金屬膜。目前已可成功在一般真空環境(10-3 torr)下,以低溫(150 度)低壓(小於1MPa)進行銅-銅接合,接合可在60分鐘內完成。
由於雙晶本身具有阻擋差排(dislocation)移動的功能,在我們的研究中強度可以是一般電鍍銅的2至3倍。低溫低壓的銅銅接合技術是下一世代高階產品封裝技術。高強度導線能應用於3D IC integration 的銅導線。 此技術獲得台積電、聯發科、應用材料、科林研發的高度關注,有計畫共同開發應用。同時也引起美國Apple 公司的注意,目前正在洽談合作計畫中"

聯絡人

  • 姓名:陳智

  • 電話:03-571-2121#31814

  • 地址:新竹市大學路1001號

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其他資訊

  • 展館別:未來科技館

  • 所屬代表參展單位:國家科學及技術委員會

  • 主要應用領域:材料化工與奈米

位置 更多資訊

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  • 技術成熟度:量產上市

  • 展示目的:可交易技術、商機推廣、研發成果展示

  • 流通方式:專利授權/讓與、技術授權/合作

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