技術簡介:
本計畫開發「量子退火光罩最佳化框架」,利用D-Wave量子退火器解決半導體微影中的光罩最佳化問題。傳統反向微影技術(ILT)面臨收斂困難、容易局限於局部最小值及計算時間過長等挑戰。我們將ILT問題轉換為二元二次無約束最佳化(QUBO)模型,運用量子特性實現快速全域最小值搜尋。研究建立了可應用量子退火的光罩最佳化框架,並探索其工業應用潛力,為半導體製造的下一代計算平台奠定基礎。
產業應用性:
首次實現半導體微影光罩最佳化的量子計算應用,嘗試突破傳統ILT的計算瓶頸。成功將高階成本函數轉換成二次的QUBO模型,在量子退火的基礎上達成理論上微秒等級的最佳化速度。使用動態成本函數修正技術,確保二次近似的準確性。此突破為半導體製造引入量子優勢,開創計算微影的新典範,為未來大規模量子應用奠定關鍵技術基礎。
國立陽明交通大學(NYCU)於2021年由國立陽明大學與國立交通大學合併而成,位於新竹市。學校擁有強大的科技、工程、醫學及社會科學領域,並在資訊技術、生物醫學、人工智慧等領域具有卓越的研究實力。國立陽明交通大學致力於跨領域合作與創新,並培養具全球視野的專業人才,積極應對社會挑戰與推動科技發展,為學術界和產業界作出重要貢獻。
技術成熟度:其他
展示目的:研發成果展示
流通方式:自行洽談
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