技術簡介:
本計畫研發一微感測器陣列（MDA），旨於測量極紫外、深紫外、電子束和離子束之強度和均勻性，其可檢測影像關鍵尺寸、尖銳度和影像邊緣位置等關鍵參數，符合FinFET邏輯製程要求，提供高強度對比度、寬動態範圍、內置校準系統和即時WAT分析等功能，以監控微區域製程參數變異性，提高製程穩定性並縮短開發時程。
產業應用性:
微型感測器陣列可偵測晶圓上入射 EUV參數，能導入EUV 曝光機設備廠商如ASML之檢測模組，為5 nm以下之FinFET 微影優化關鍵技術。可即時監控曝光機內極紫外光參數、以無線訊號傳遞，應用於需監測強度變化環境。
國立清華大學（National Tsing Hua University, NTHU）成立於1911年，位於新竹市，是台灣頂尖的研究型大學之一。學校提供多元的學科領域，包括工程、科學、管理、人文等，致力於創新研究與國際化發展。
技術成熟度：其他
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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