基於絕緣層上覆薄膜鈮酸鋰技術實現次世代表面聲波寬頻通訊元件

●技術簡介: 此「絕緣層上覆薄膜鈮酸鋰(LNOI)表面聲波技術」利用異質聲波阻抗產生波導結構，能拘束聲波於晶片表面傳播並大幅抑制體聲波散射，提升表面聲波共振器、寬頻濾波器、低損耗聲波延遲線等射頻元件的性能表現。本技術所開發的新式表面聲波元件性能為傳統表面聲波元件之五至十倍，亦是氮化鋁體聲波元件的二至三倍以上。 ●技術之科學突破性: 本團隊基於LNOI技術開發出高性能表面聲波共振器，除了具有低溫度係數的特徵外，更具有高於39％之機電耦合係數與高於1130的品質因數，綜合性能指標超過440，與競爭團隊相比暫居世界第一水準。運用此技術本團隊成功實現頻寬超過14％的寬頻濾波器以及超低損耗寬頻延遲線，能夠應用於寬頻通訊系統。 ●技術之產業應用性: 本技術具備高性能、頻率延展性、低成本、高良率等優勢，有望能打破目前5G/B5G系統中寬頻濾波器被IPD技術把持的局面。LNOI技術有望滿足5G NR中嚴苛頻段的規範，是近年射頻硬體的革命技術。此技術亦具擴充性，除尖端通訊元件外亦能化身為各式感測器，能與國內半導體上中下游產業密切合作並拓展應用範圍。