技術願景:隨著科技水平不斷革新,間接帶動自駕車、元宇宙和AIoT等新興領域
的發展。其中,MEMS微掃描面鏡是實現LiDAR、HUD、HMD與智慧眼鏡的核
心技術之一,因MEMS微掃描面鏡同時具備體積、功耗、與價格的競爭優勢,被
視為一極具潛力的關鍵技術。針對上述應用,MEMS微掃描面鏡須符合大角度、
高頻率、大面鏡尺寸之設計規格的挑戰。而為了因應即將來到的市場與商機,國
際間也紛紛組成跨國研發聯盟,例如以意法半導體為首的LaSAR聯盟,成員包括
歐洲各科技大國(德國、法國、義大利等),雖台灣也有公司加入其中,但對於關
鍵技術的MEMS微掃描面鏡仍然無法掌握。因此本團隊透過國科會計畫,結合主
持人多年的設計經驗與研究能量,開發多種壓電式MEMS微掃描面鏡晶片,並利
用國內半導體資源的優勢,結合相關業者組成跨領域的產學研發團隊,期望能夠
串聯設計、製造、封測,系統等產業,在地化的為相關技術紮根,同時也為我國
微機電產業,開闢另一具有競爭力的道路。
技術目標:(1)元件: 針對車用場域以及消費性電子開發出符合規格之壓電式MEM
S微掃描面鏡;(2)製程: 透過與代工廠合作實現商業化壓電製程平台,並協助建立
壓電參數資料庫;(3)模組與應用: 將製作完成的MEMS微掃描面鏡,依據使用需
求分別導入LiDAR模組與HUD模組,實現光、機、電模組/系統整合;(4)未來願
景:相關技術可進一步拓展壓電聲學與其他光學調變元件,提升技術價值。
技術特色:成功實現多顆高性能之壓電式MEMS微掃描面鏡,其中,面鏡尺寸、
操作頻率、掃描角度等3項重要性能指標皆符合商用標準。
(1) 面鏡尺寸(LiDAR):直徑3 mm之面鏡尺寸下,掃描角可達140度。
(2) 操作頻率(Display):在37 kHz的驅動頻率下,掃描角度仍可高達70度。
(3) 掃描角度(LiDAR /Display):不需要真空封裝下,掃描角達180度。(全球第一
顆)
(4) 操作模式(Display):在雙軸成像下可完整投影近乎垂直的影像邊界。