數位微影技術是全球新興科技與產業的核心，可應用於IC封裝、印刷電路板、面板、LED製程等。本計畫涵蓋數位微影技術三項核心技術: 數位光學引擎、演算法以及高速FPGA晶片韌體控制與計算，利用人工智慧的機器學習演算法整合微影製程與光學檢測，提升製程品質與效率，推動臺灣PCB產業進入智慧化製造層次。本計畫自行開發數位微影曝光技術中的核心技術:數位微影光學引擎、高速晶片控制與機器學習整合之韌體、機器學習模型的圖案分類及最佳化曝光能量演算法。除含光學引擎之數位微影系統，另依據微影光學物理模型分析、模擬與預測微影製程後光阻圖案結果，即時提供工程人員進行分析，提升微影製程設備價值以達成高效能生產目的。數位微影技術可應用於IC封裝、印刷電路板、面板、LED製程等。本計畫所預期建立的智慧化微影與檢測製程整合關鍵技術可提升臺灣PCB產業至智慧化製造層次。少量多樣化設計的製程自主優勢、智慧軟體結合尖端硬體設備的全方位整合系統，加強台灣發展微影與高值化檢測設備技術的競爭力，並培育智慧微影製造相關研究人才。