本技術製作高靈敏度奈米複合材料電阻式氣體感測晶片,並建構可攜式雲端存取環境二氧化氮氣體感測器。此感測器二氧化氮偵測濃度範圍為5 ~ 1000 ppb,解析度為5 ppb,可在高溫高濕環境工作,符合環境空氣品質監測要求。我們製作了由金奈米粒子、氧化銅奈米粒子及氧化鋅奈米柱所組成的三元奈米複合材料,作為電阻式低濃度氣體感測材料,可在四吋晶圓上批量生產感測晶片。在大氣背景環境下,可測到5 ppb NO2,響應值約5%。經過約兩個月戶外場域測試,感測晶片展現高穩定性,可在高溫高濕戶外環境使用,具有很高的商品化價值。可攜式氣體感測器可應用於空氣汙染防制產業及工廠製程監控產業,奈米複合材料製程技術可應用光觸媒抗菌塗料產業,環境氣體濃度數據分析技術可應用於大數據分析產業。
技術成熟度:試量產
展示目的:可交易技術、可交易專利、商機推廣、研發成果展示
流通方式:技術授權/合作、自行洽談
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