埃米(Å)世代超薄型抗腐蝕二維材料薄膜高靈敏氣體感測器
本技術開發低溫電漿輔助硒硫化技術成長二維材料應用於高靈敏氣體感測元件，克服二維材料目前高溫成長，具備半導體標準製程、可大面積製備和厚度與晶相可調性等優勢，實現對特定氣體分子高度選擇性感測應用，其中腐蝕敏感性及毒化效應之氣體如H2(下標)S、NH3(下標)等呈現出更強的抗腐蝕性和材料穩定性。
姓名：闕郁倫
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展館別：未來科技館 2024AIoT智慧應用 FK09
所屬代表參展單位：國家科學及技術委員會
主要應用領域：資訊與通訊
紙基奈米陣列之高靈敏表面增強拉曼檢測平台
以二維材料為基礎的ppb等級氣體偵測器
雲端存取環境二氧化氮氣體感測器
針對5G-AIOT應用廣泛興起所導致資安議題的創新硬體防護技術: 與CMOS製程平台完全相容無須多餘光罩的新式小面積低功耗高效率之「介電質熔絲崩潰單次編程記憶體」
技術成熟度：試量產
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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