●技術簡介：
結合國輻中心真空小組之氣導測量技術與陽明交通大學電子物理系超快動力學實驗室之飛秒雷射鑽孔加工技術所合作開發的新型標準氣導元件(Standard Leak Element, SLE )。
●技術之科學突破性：
新開發的標準氣導元件設計相較於目前文獻或市面販售的標準氣導元件(如Nano hole, multichannel, AAO, sinter stainless steel filter…)具有下列優點:
1. 製程相較簡單且製作成本便宜。
2. 有別於文獻其它類型的標準氣導元件將微流道製作在非金屬的矽或陽極氧化鋁基板上，需額外使用Torr Seal®真空膠密封非金屬基板與真空法蘭。新型的標準氣導元件(法蘭墊圈樣式)本身即是密封墊圈或可使用市面販售的標準墊圈作真空密封(雙刀口法蘭樣式)，故可在超高真空及高溫環境(~ 4500 C)下使用，此為其它形式的標準氣導元件(Nano hole, multichannel, AAO)無法達成。
3. 可實現外加工作氣體壓力小於一大氣壓條件下，氣體分子於氣導元件通道內形成分子流。。在此狀態下標準氣導元件對不同氣體的氣導不隨外加壓力作改變，故其能作為一提供極小且穩定氣體流量之裝置，能廣泛應用於真空科技及工業上使用。
●技術之產業應用性：
所開發的新型標準氣導元件可運用以下之用途:
1. 氣體於操作壓力低於一大氣壓之環境下，實現所通入的工作氣體在標準氣導元件通道內形成分子流，即工作氣體流經標準氣導元件的氣導不隨外加氣壓變化而改變，該元件能提供一極小穩定的氣體流量小於目前市售氣體流量計所能提供之最小流量。
2. 作為一差分抽氣元件，例如可運用在大氣殘留氣體分析儀(Atmospheric Pressure Gas Analyzer)或二次離子質譜儀(Secondary Ion-Mass Spectroscopy)的離子源使用。
3. 上述提供一極小穩定氣體通量之優點，可用於校正氦氣測漏儀漏率、量測離子真空計及殘留氣體分析儀對不同氣體的靈敏度(sensitivity)、量測真空幫浦對不同氣體的抽氣速率。

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