N2O是我國半導體產業溫室氣體直接排放第一名，每年排放量達130萬公噸碳當量，而傳統電熱水洗式LSC對於N2O處理效率不佳(僅約10％)，因此，材化所團隊因應半導體產業減碳急迫需求，開發N2O精準還原技術，藉由添加還原劑提升N2O的處理效率，並即時監測後端還原劑的殘留濃度，進行回饋控制，能使還原劑的殘留濃度符合半導體場域對於易燃氣體使用的安全排放標準。目前正與技轉廠商合作，針對既有LSC進行還原劑添加之N2O精準還原設備改造。預計每年減碳量可達22.4萬噸。
工業技術研究院是國際級的應用研究機構，擁有六千位研發尖兵，以科技研發，帶動產業發展，創造經濟價值，增進社會福祉為任務。自1973年成立以來，率先投入積體電路的研發，並孕育新興科技產業；累積近三萬件專利，並新創及育成，包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司，帶動一波波產業發展。
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展示目的：可交易技術、可交易專利、商機推廣、研發成果展示
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