極紫外光之奈米微型感測器陣列的設計與開發
本計畫研發一微感測器陣列（MDA），旨於測量極紫外、深紫外、電子束和離子束之強度和均勻性，其可檢測影像關鍵尺寸、尖銳度和影像邊緣位置等關鍵參數，符合FinFET邏輯製程要求，提供高強度對比度、寬動態範圍、內置校準系統和即時WAT分析等功能，以監控微區域製程參數變異性，提高製程穩定性並縮短開發時程。
姓名：林崇榮
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展館別：未來科技館 2024電子&光電 FF02
所屬代表參展單位：國家科學及技術委員會
主要應用領域：電子與光電
極高介電係數閘極堆疊整合於高層數堆疊通道電晶體；堆疊奈米片鐵電場效電晶體；銦鎵鋅氧閘極環繞式奈米片電晶體
同步輻射紅外顯微術在癌症篩檢及慢性腎臟病之預後預測及其治療評估
基於深度學習的光刻電路失真預測，光罩修正及新穎布局圖樣偵測的設計自動化技術
用於光達系統擁有高單光子偵測效率和高飽和電流特性的雙層累增層設計累增崩潰光二極體
技術成熟度：雛型
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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