高效率微米級X光電腦斷層掃描
本技術專為快速且精確地擷取二維和三維X光影像而設計，適用於不同材料、尺寸和實驗狀態。主要系統包含投影X光顯微鏡(PXM)和透射X射線顯微鏡(TXM)，共同使用高效偵測器模組。PXM和TXM具備高精度旋轉台能夠進行斷層掃描，以及自動換樣系統。另配備1PB磁碟陣列和GPU計算叢集以確保高效數據處理。
姓名：殷廣鈐
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展館別：未來科技館 2024法人計畫成果 FC03
所屬代表參展單位：國家科學及技術委員會
主要應用領域：電子與光電
三維原子級電子斷層掃描技術在前瞻半導體元件的應用
極高介電係數閘極堆疊整合於高層數堆疊通道電晶體；堆疊奈米片鐵電場效電晶體；銦鎵鋅氧閘極環繞式奈米片電晶體
高遷移率材料、製程、多層疊元件及熱電路模型；鐵電鉿基氧化物之負電容特性研究及相關應用；先進原子層材料與模組技術
高效能量子態斷層掃描術
技術成熟度：試量產
展示目的：研發成果展示
流通方式：自行洽談
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