"隨著半導體製程技術邁向奈米尺度，前段製程中的濺鍍設備面臨更高的精度與效能需求，開發具備先進功能的TiN濺鍍設備遂成為技術突破的關鍵。
本公司開發之新型濺鍍系統，搭載可調式陰極磁座模組，並導入結合數位雙生（Digital Twin）技術的大數據分析、模擬與AI整合設計平台。透過多重物理耦合模擬與高效參數優化演算法，實現虛實整合的製程開發流程，加速設備迭代設計與量產導入。此一創新技術不僅顯著提升靶材使用效率，更強化TiN硬質遮罩之膜質穩定性，全面滿足濺鍍製程對薄膜均勻性與可靠性的嚴苛要求。
此外，本公司亦攜手國內71家以上關鍵零組件供應商，並結合台南工廠的完整製造產線，使前段濺鍍設備的國產化自製率達79%。未來，該設備的研發與製造，將可由台灣優貝克公司進行，展現台灣自主創新與製造的強大實力。"
優貝克是世界級知名的真空設備製造商，在半導體、電子、光學、產機領域，皆擁有設備實績，為了顧客、為了業界、為了未來，持續對真空技術進行革新與貢獻。
技術成熟度：量產上市
展示目的：可交易技術
流通方式：專利授權/讓與
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