電漿拋光機
1.特殊的氣體擴散板具有離子過濾功能。 2.載盤連接射頻發生器形成偏壓功率。 3.搭載 6種反應氣體可支援多種電漿製程。
天虹集團創立於西元2002年，成立至今始終致力於半導體及相關科技產業的專業服務，已通過全球半導體各大晶圓代工製造廠及各大記憶體晶圓製造廠的驗證，並與客戶具有長期合作關係的績優合格供應商。
姓名：卓美紅
電話：03-6673055#2087
地址：新竹縣竹北市嘉政一街1號5樓
展館別：創新領航館 解密科技寶藏 IA38
所屬代表參展單位：經濟部產業技術司
主要應用領域：電子與光電
極高介電係數閘極堆疊整合於高層數堆疊通道電晶體；堆疊奈米片鐵電場效電晶體；銦鎵鋅氧閘極環繞式奈米片電晶體
高遷移率材料、製程、多層疊元件及熱電路模型；鐵電鉿基氧化物之負電容特性研究及相關應用；先進原子層材料與模組技術
含鹼土族金屬-有機配位架構物的有機電激發光材料及有機電激發光裝置
可消化電池搭配奈米充電機於殺菌的應用
技術成熟度：實驗室階段
展示目的：研發成果展示
流通方式：新產品開發
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