本技術製作一具磁性且機械強度強之薄型uLED, 將LED磊晶膜移轉至一特殊之超薄且具磁性之金屬基板,可製作成一薄膜型垂直型uLEDs, 可提高發光面積,又基板為複合金屬基板, 完成元件製程後, 切割道部分可用化學蝕刻方式將此金屬基板移除,可提高磊晶膜使用率。又因此基板具磁性, 可以磁性進行巨量轉移。科學性突破如下:
(1)驗證金屬基板熱膨脹係數可調整至與磊晶膜相當, 進而將磊晶膜轉移至此金屬基板;
(2)驗證可用化學蝕刻技術得到具基板支撐之uLEDs;
(3)驗證可用磁力與超音波將uLEDs製作成陣列排列, 做為磁性巨量轉移之uLEDs。
(4)驗證可採用磁力進行uLEDs巨量轉移。(1)應用於Thin Film LED高散熱功率元件。
(2)製作成極微型之uLED, 可利用此一磁性進行巨量轉移, 製作成uLED顯示器。
(3)應用於車用光源產業, Laser 或VCSEL 。
(4)串聯產業鏈, 提供磁性巨量轉移之設備產業, 將uLED之應用推廣至更為特殊之應用。