●技術簡介：
本技術首重前瞻氧化鎵鋅(ZGO)寬能隙氧化物應用於硬Ｘ光波長與深紫外光感測器，磊晶ZGO於藍寶石基板並製作指叉狀電極，再將藍寶石基板拋光技術，即可製作成高性能Ｘ光與Deep UV光感測器。本技術亦可串聯多組感測器形成陣列且與後續之電路進行覆晶封裝，元件製程容易，成本低卻具高性能，可以低電壓驅動。
●技術之科學突破性：
(1) 氧化鎵鋅Ｘ光檢測器可以承受現行商用閃爍檢測器上限千倍強度之光輻並正常運作，並同時具備比美現行商用檢測器之光感度。
(2)相較傳統閃爍檢測器僅需低電壓即可驅動。
(3) 採用覆晶結構，可將其與電晶體電路結合，簡化Ｘ光光感測器之系統結構。
(4)可工作在極高溫度
●技術之產業應用性：
x-ray光感測器可應用於醫療，工業，甚至軍事與外太空等嚴酷環境之領域，涵蓋x-ray能量可從小劑量至同步輻射系統所提供之光源，因此應用領域非常廣泛。若應用於深紫外光感測，其可應用於火焰偵測，深紫外光之殺菌系統，或醫療之感測器。
(5)可製作成深紫外光感測器。