提升碳化矽粉體純度與晶粒尺寸,以符合國內業者對於長晶原材料之需求,可有效降低生產成本。
藉由粉體合成過程中同時達到提純與晶粒粗化之效果,不需額外進行提純之製程,減少廢氣與廢液之產生。
工業技術研究院是國際級的應用研究機構,擁有六千位研發尖兵,以科技研發,帶動產業發展,創造經濟價值,增進社會福祉為任務。自1973年成立以來,率先投入積體電路的研發,並孕育新興科技產業;累積近三萬件專利,並新創及育成,包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司,帶動一波波產業發展。
技術成熟度:試量產
展示目的:可交易技術、研發成果展示
流通方式:技術授權/合作
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