為解決關鍵材料鋁鈧合金靶材自主化生產的問題,本技術透過金屬鈧合成、純化、合金製靶等技術,提供國內靶材廠發展鋁鈧合金製靶技術。掌握關鍵靶材原物料來源及建立鋁鈧合金製靶成型核心技術。
工業技術研究院是國際級的應用研究機構,擁有六千位研發尖兵,以科技研發,帶動產業發展,創造經濟價值,增進社會福祉為任務。自1973年成立以來,率先投入積體電路的研發,並孕育新興科技產業;累積近三萬件專利,並新創及育成,包括台積電、聯電、台灣光罩、晶元光電、盟立自動化、台生材等上市櫃公司,帶動一波波產業發展。
技術成熟度:雛型
展示目的:研發成果展示
流通方式:技術授權/合作
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